真空度:烘烤冷却后系统最终真空度可达到2.0×10-10 mbar (正偏离,招标文件要求真空度 7.0×10-10 mbar);半球能量分析器半径150mm;能量扫描范围0~3500eV;离子源:Ar源和He源;最大束流:≥5μA;
材料化学成分分析及表征
无