XY方向闭环噪音水平:0.15 nm; XY方向开环噪音水平:0.10 nm; Z方向闭环噪音水平:0.035 nm; XY方向扫描范围90um x 90 um,垂直方向扫描范围10 um
轻敲模式、 接触模式、相位成像模式、横向力模式、抬高模式成像、磁场力显微镜
无