样品粗定位范围x》60mm 探测模式 半接触模式 接触模式可选 位移精度10nm AFM探针要求 共振频率1000kHZ 对角线视野 0.75nm CCD像素 5百万像素
利用载波技术没见被测物理量转化为调频或者调相信号,提高了光电信号的信噪比,具有抗干扰能力强,测量速度高,易于实现高测量分辨力等特点,因而在精密测量中发挥了重大的作用
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