离子减薄仪
资产编号：
S1902587
联系人：
朱陆军
联系电话：
13716452271
邮箱：
zhulujun@snnu.edu.cn
规格型号：
695.CZPS 695.CZPS
放置地点：
3007
生产厂家：
GATAN INC.
制造国家：
美国
购置日期：
2019-06-03
入网日期：
2021-11-04
入网日期：
2021-11-04
购置日期：
2019-06-03
仪器价格：
81.25
仪器产地：
美国
分类号：
011299
出厂日期：
2019-06-03
资产负责人：
朱陆军
主要规格及技术指标:
离子束能量调节范围：0.1keV~8keV；
减薄入射角：10度至-10度，两只离子枪可独立调节：
减薄速度：硅，每小时40微米，5千伏；
样品尺寸：3mm;
无油真空系统，真空度：5E-6Torr 基本压强，8E-5Torr 工作压强
主要功能及特色:
氩离子略入射减薄与清洗
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
常规制样 校内 50元/小时 校外 200元/小时 300元/样