1.1 配备单色化Al靶射线源。
1.1.1 单色器:石英晶体单色器;单色化光源阳极靶,使用单一 Al Kα 靶源,可更换新鲜靶点数20个。
1.1.2最佳能量分辨和灵敏度:对 Ag 3d5/2 峰,0.45eV@160kcps。
1.2双阳极靶射线源:Al/Mg 双阳极,单源功率400W,能量分辨和灵敏度:对Ag 3d5/2峰,能量分辨优于0.82eV时,灵敏度优于675,000 cps。
1.3X射线束斑
最小束斑尺寸20 μm,束斑大小20-900 μm连续可调,可应对大面积和微区分析需求。
2.采谱和能量分析器
2.1 类型:180°双聚焦半球形能量分析器,μ金属材质。
2.2 平均半径:150 mm。
2.3 通过能: 1-400eV范围连续可调,调节步长可低至0.1eV。
2.4能量扫描范围: 0-5000 eV。
3.能量传输透镜
整套设备具备XPS(含元素化合态成像和角分辨XPS)、离子深度刻蚀(包括单原子离子枪、团簇离子枪)、UPS紫外光电子能谱、离子散射谱(ISS)、反射电子能量损失谱(REELS)、超高真空实现与监测功能以及实现上述功能的部件;可进行有机、无机、金属等各种材料的表面几个原子层(1-10nm 厚的表面)的化学组成、价态,深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征。
无
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