入网日期：
2021-11-04
购置日期：
2017-08-22
仪器价格：
165.07
仪器产地：
中国
分类号：
010404
出厂日期：
2017-08-22
资产负责人：
尹峰
主要规格及技术指标:
1系统背景真空度优于1×10-7mBar
2 nozzle尺寸可调
3可产生的团簇束流流量不低于每秒钟1012个，选择后高于106个/s
4 选择精度优于20
5 选择后束流原子数在1-10000之间
6 样品台行程为20cm以上，可以放置4个以上样品，可使用液氮冷却。
主要功能及特色:
适用范围广，可制备金属、半导体、非导体等各种团簇；
团簇表面干净，没有保护配体的干扰，可制备高活性团簇；
团簇尺寸控制范围大（1－60,000 atoms）、精度高∆m/m≈ 5%；
结构和成份可控；沉积方式和能量可控；
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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自备靶材，如需提供靶材按实际靶材价格收费 校内 100元/小时 校外 300元/小时