仪器共享管理系统

高精度掩膜对准光刻机

资产编号：

293698

联系人：

联系电话：

18792760790

邮箱：

dpwang@snnu.edu.cn

规格型号：

MJB4

放置地点：

长安校区致知楼2510

生产厂家：

Suss

制造国家：

德国

购置日期：

1970-01-01

入网日期：

2026-09-10

入网日期：

2026-09-10

购置日期：

1970-01-01

仪器价格：

仪器产地：

德国

分类号：

010402

出厂日期：

1970-01-01

资产负责人：

主要规格及技术指标:

u652fu63014u82f1u5bf8u6676u5706uff1bu66ddu5149u6ce2u957fuff1a350-450nmuff1bu66ddu5149u706fu529fu7387uff1a350Wuff1bu5206u8fa8u7387uff1au4f18u4e8e0.8mmuff08u5149u523bu80f6u539au5ea61u5faeu7c73u65f6uff09uff1bu5957u523bu7cbeu5ea6uff1a0.5mmuff1bu5149u5f3au5747u5300u5ea6uff1au4f18u4e8eu00b12uff05uff1bu66f4u6362u6c5eu706fu540eu53cau6c5eu706fu5168u5bffu547du5468u671fu5185u65e0u9700u5747u5300u6027u6821u6b63uff1bu66ddu5149u6a21u5f0fuff1au53efu652fu6301u786cu63a5u89e6u3001u8f6fu63a5u89e6u3001u63a5u8fd1u548cu771fu7a7au7b49u6a21u5f0f.

主要功能及特色:

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主要附件及配置:

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公告名称	公告内容	发布日期