入网日期：
2022-05-30
购置日期：
2020-05-01
仪器价格：
107590
仪器产地：
分类号：
出厂日期：
2020-05-01
资产负责人：
宋月婵
主要规格及技术指标:
真空泵组 无油千泵+分子泵组
泵组抽速 >0.3m3/h隔膜泵+25L/S分子泵
极限真空 <10E-3Pa
工作气压 0.5-2Pa
抽空时间 <5 Min
真空测量 测量范围大气压到10E3Pa,进口品牌皮拉尼真空计
气体控制 MFC气体质量流量控制器(50 SCCM Ar)
主要功能及特色:
108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
校内 120元/时 20/样
校外 180元/时 30/样