等离子增强原子层淀积系统
资产编号：
1701458S
联系人：
刘生忠
联系电话：
18109257486
邮箱：
规格型号：
ALD-SC8-PE
放置地点：
2222
生产厂家：
矽碁科技股份有限公司
制造国家：
中国
购置日期：
2017-06-22
入网日期：
2022-05-16
入网日期：
2022-05-16
购置日期：
2017-06-22
仪器价格：
101.63
仪器产地：
中国
分类号：
010503
出厂日期：
2017-06-22
资产负责人：
刘生忠
主要规格及技术指标:
可由计算机显示并记录机台所有异常数据（包括异常内容及异常时间）可由用户设定用户权利管理（包含：TE、EE、PE、ME）；所有参数设定可自行设定误差值误差时间并提供报警；提供弹性化制程气体及管路设定控制接口，配合权限管理可自由增加或减少制程程序。
主要功能及特色:
检测
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|