甚高频等离子体化学气相沉积系统
资产编号：
20136042
联系人：
刘生忠
联系电话：
029-81530785
邮箱：
规格型号：
VHF-PECVD
放置地点：
2107
生产厂家：
Mvsystem inc.
制造国家：
美国
购置日期：
2013-05-15
入网日期：
2022-05-16
入网日期：
2022-05-16
购置日期：
2013-05-15
仪器价格：
661.83
仪器产地：
美国
分类号：
010411
出厂日期：
2013-05-15
资产负责人：
刘生忠
主要规格及技术指标:
6英寸硅基薄膜电池全自动工艺集成系统；
3个PECVD腔室 1个Sputter腔室；
极限真空：10-5Pa；
主要功能及特色:
a-Si、nc-Si、nc-SiGe、Ge量子点、AZO、ITO 薄膜；
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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