入网日期：
2022-02-25
购置日期：
2014-12-23
仪器价格：
941300
仪器产地：
德国
分类号：
010411
出厂日期：
2014-12-23
资产负责人：
张荷兰
主要规格及技术指标:
1. 具有2把离子枪，离子束能量为0.8keV-10keV,可分别±45°倾斜，样品台倾斜角度-120°至 210°，离子束加工角度0°至90°，样品平面摆动角度360°，垂直摆动距离±5mm。 2. 全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间1分钟 3. 全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程
主要功能及特色:
对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过,适合TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。
主要附件及配置:
无
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