加速电压:20 kV-220 kV; 电子枪类型:高稳定度肖特基场发射电子枪; 最小束斑尺寸:平行光模式 1.2 nm,汇聚束模式: 0.5 nm; 信息分辨率: 0.12 nm;点分辨率: 0.25 nm;扫描透射分辨率: 0.16 nm; 能谱仪分辨率:优于129 eV;有效检测面积100mm2; 元素分析范围:B5-Am95;
对块材如金属和陶瓷等及纳米材料、二维材料等进行形貌观察和高空间分辨率微结构分析,结合EDS能谱仪对样品元素做面分布分析,以及对各种元素进行定性和半定量微区分析。
EDS等
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