加速电压:200 kV点分辨率:≤ 0.25 nm扫描透射分辨率:≤ 0.16 nm元素分析范围:B5 ~ Am95
对金属、陶瓷、纳米材料、二维材料和生物材料等进行形貌观察和高空间分辨率结构表征利用会聚束、选区电子衍射表征样品微区晶体结构信息结合能量色散谱仪对样品特定区域元素进行定性和半定量分析
无