（材料学院）场发射扫描电子显微镜
资产编号：
1400475S
联系人：
赵桦
联系电话：
029-85318798
邮箱：
zhaohua@snnu.edu.cn
规格型号：
SU8020 SU8020
放置地点：
2112
生产厂家：
日立电子株式会社
制造国家：
日本
购置日期：
2014-12-23
入网日期：
2021-11-04
入网日期：
2021-11-04
购置日期：
2014-12-23
仪器价格：
3462200
仪器产地：
日本
分类号：
010499
出厂日期：
2014-12-23
资产负责人：
赵桦
主要规格及技术指标:
二次电子分辨率： 1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压 0.1～30kV
观测倍率 20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
马达驱动 5轴 REGULUS样品台
行程 X 0～50mm 0～110mm
Y 0～50mm 0～110mm 0～80mm
Z 360°
T -5～70°
R 1.5～30mm
主要功能及特色:
1kv分辨率可达1.3nm；日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品；
Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像；
可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；
标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
校内按时收费：80元/小时；校外按时收费：400元/小时。