XY方向闭环噪音水平：<0.15 nm；
XY方向开环噪音水平：<0.10 nm；
Z方向闭环噪音水平；<0.035 nm；
XY方向扫描范围90 μm × 90 μm，垂直方向扫描范围10 μm；
样品尺寸/夹具：210 mm真空吸盘样品台，直径210 mm。

材料形貌、电学、磁学和压电等性质，要求样品粗糙度达到纳米级别，整体厚度≤5 mm。
备注：样品的载体选择包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、某些生物膜等，其中最常用的是新剥离的云母片，主要原因是其表面非常平整且容易处理。抛光硅片最好要用浓硫酸与30%双氧水的7∶3 混合液在90 ℃下煮1h。利用电性能测试时需要导电性能良好的载体，如石墨或镀有金属的基片。

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