入网日期：
2021-11-04
购置日期：
2020-07-23
仪器价格：
483343
仪器产地：
中国
分类号：
出厂日期：
2020-07-23
资产负责人：
沈壮志
主要规格及技术指标:
1. 厚度范围：20nm-50um
2. 准确性<1nm或<0.5%
3. 分辨率：0.1nm
4. 垂直测量范围：1mm
5. 测试重复性：5A, 1σ@1um step
6. 设备采用LVDT传感器
7. 探针加力范围：1-15mg
8. XY样品台移动范围：150mm*150mm（自动）
9. 样品台尺寸：200mm
10. 可容纳样品厚度：50 mm
11. 含彩色CCD摄像头
12. 标配半径2微米钻石探针
13. 含应力测试软件
主要功能及特色:
1.表面2D台阶形貌； 2.三维表面结构；3.粗糙度
主要附件及配置:
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
常规 校内 50元/样 校外 100元/样